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干式螺桿真空泵是較全詳細的
時間:2022-05-20 人氣: 來源:信息編輯
干式螺桿真空泵是干式泵系列之一。所謂的干式真空泵,在泵的泵流道中,不能使用任何油和液體,排氣口與大氣相連,可以直接連續排放到大氣中。干式真空泵在泵中沒有液體工作介質或密封介質,從根本上解決了油封真空泵引起的各種問題。
干式螺桿真空泵出現于20世紀90年代初。由于其抽速范圍廣、結構簡單緊湊、泵腔無摩擦元件、能耗低、無廢液排放、運行成本低等一系列優點,廣泛應用于半導體、光伏工業、化工、醫藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域。
干式螺桿真空泵是由一對同步齒輪驅動的反向旋轉螺釘。螺釘和螺釘之間,螺釘和泵腔之間有一定的間隙,金屬和金屬之間沒有任何接觸。因此,在旋轉過程中,螺釘將從進氣口吸入并排放到排氣口。根據螺桿類型,干式螺桿真空泵可分為等螺距和可變螺距,可變螺距可分為兩種類型:不同尺寸的螺距和螺距的連續變化。
從左到右:等螺距,變螺距(二段拼成),螺距連續變化(整體)不同的螺桿設計。
干式螺桿真空泵零件少,無易損件,運行可靠,使用壽命長,操作維護方便;
由于采用變螺距結構,比等螺距螺桿可節省30%的能耗,排氣溫度較低;
干式螺桿真空泵無不平衡慣性力,機器運行平穩高速,噪音低;
具有強制輸氣的特點,在寬壓范圍內可保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響;
由于干螺桿真空泵轉子齒表面之間有一個小間隙,可以去除腐蝕性、有毒、含有灰塵、冷凝蒸汽等氣體,小顆粒不易積聚,泵腔內的殘留物也容易去除;
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